具(ju)備極高(gao)軸向(xiang)分辨率，可達亞微米(mi)級別，實現高(gao)精度測量微小物(wu)(wu)體(ti)(ti)尺寸。多參數測量能力突出，可分析(xi)物(wu)(wu)體(ti)(ti)光(guang)學特性與(yu)材(cai)料(liao)成分，為(wei)質量檢(jian)測提供豐富信息。非(fei)接觸式測量避免(mian)損(sun)傷被測物(wu)(wu)體(ti)(ti)，適(shi)用于易損(sun)材(cai)料(liao)或精密部件檢(jian)測。
